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产品特点:仪器采用消光法自动测量薄膜厚度和折射率,具有精度高、灵敏度高以及自动控制等特点。光源采用氦氖激光器,功率稳定波长精度高。仪器采用USB接口与电脑连接,配套软件功能齐全,具有多样数据采集及处理方式,适用于不同用户的需要。 规格与主要技术指标:测量范围:薄膜厚度范围1nm-4000nm 折射率范围:1-10 测量*小示值:≤1nm 入射角:20°- 90°精度≤0.05°度盘刻度:每格1度 允许样品尺寸:φ10-φ140mm,厚度≤16mm偏振器步进角:0.014°/步 偏振器方位角范围:0°- 180° 测量膜厚和折射率重复性精度分别为:0.5nm和0.005仪器测量精度:±0.5nm(薄膜厚度在10-100nm时)光学中心高度:80mm 成套性:主机、电控系统、USB接口、配套软件(需配计算机)主机重量:26kg 外形尺寸:680*390*310mm
装箱单
序号 | 名 称 | 规格或型号 | 数量 | 备 注 |
1 | 自动椭圆偏振测厚仪主机 | TP-TPY-2 | 1台 | |
2 | 主机电控箱 | TP-TPY-2 | 1台 | |
3 | Q9连接线 | 1根 | ||
4 | 数据连接线 | 1根 | ||
5 | 电源线 | 2根 | ||
6 | 15线连接电缆 | 1根 | ||
7 | USB连接电缆 | 1根 | ||
8 | 二氧化硅膜样片 | 1张 | ||
9 | 软件安装盘 | TP-TPY-2 | 1张 | |
10 | 使用说明书 | TP-TPY-2 | 1份 | |
11 | 装箱单 | TP-TPY-2 | 1份 | |
12 | 产品合格证 | TP-TPY-2 | 1份 |