半导体特气检漏仪 XP-703DIII

参考信息

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　　XP-703DIII (自动吸引式)

　　半导体特气检漏仪

　　特点：

　　*适合于检测半导体特气的微量泄漏。

　　采用声光报警。

　　规格

　　型 号 XP-703DIII

　　检测对象气体 半导体材料气体(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等)

　　检测原理 热线型半导体式

　　采样方式 自动吸引式

　　检测气体名称：砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氢气

　　          AsH3  PH3  B2H6 SiH4 H2

　　可检测*小浓度

　　(单位：ppm)0.2 0.3 0.1 0.5 1.0

　　检测表示 蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁

　　应答速度 10秒以内

　　尺寸W38×H130×D30mm

　　重量190克

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