仪器简介：
应用领域：
真空残余气体分析        超高真空残余气体分析    溅射过程气体分析 
等离子体过程气体分析    蒸发材料气体分析        在线气体分析
微量夹杂气体分析        呼吸气体分析            充气气体成分分析
同位素分析              光学镜片清洁度检测      电子显微镜水分检测
半导体基片清洁度检测

技术参数：
1.质量数范围（最大） amu 1-2048
2.检测器 法拉第筒/90度离轴二次电子倍增器
3.检测极限 mbar <1*10^-11/5*10^-15
4.灵敏度 A/mbar <2*10^-4/1000
5.离子源 开式，闭式，交叉束，珊网，能量透镜等


主要特点：
1.分立部件，模块化，多样化，可扩展设计
2.可在极超高真空条件下分析，可实现定性气体分析，可实现快速分析，
3.高档四极质谱仪
4.可配离子计数器，分析单个离子，可实现多路控制
5.质量数范围：最高可达2048amu