高纯气露点变送器 Pura

参考信息

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亮点

测量下限 -120°C 露点 (1 ppbV)

测量稳定，重复性好

高度集成的采样装置

模拟和数字输出

安装简便

VCR 过程接口

设计紧凑小巧

显示/报警单元可选

技术指标

传感器

传感器类型 密析尔陶瓷湿度传感器

量程 -120 ~ -40°C 露点 (校验到 -100 ~ -40°C)

精度 ±1°C   -40 ~ -60°C;

±2°C   -61 ~ -100°C;

±4°C   -101 ~ -120°C (估算值)

分辨率 0.1°C        -40 ~ -79.9°C;

1°C           -80 ~ -100°C;

1 ~ 3°C    -100 ~ -120°C

压力 *低 10-9 torr; *大 24 MPa

气体流量 1 ~ 5 Nl/min

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