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主要技术参数:
1.便捷的PC触摸屏控制,操作系统为Windows CE5.0(ARM)
2.根据工艺要求不同,可设定功率、压强、气体流量与时间等参数
3.双路工作气体,气体流量通过数字式流量计(MFC)控制
4.反应舱为不锈钢,宽305mm ×深625 mm×高300 mm,容积约为50L
5.高周波电流频率13.56MHz,功率0~300W
6.反射波自动调节,无须手工调节
7.电极材质为铝/不锈钢
8.运行模式为手动/自动
9.可存储多套工艺程序,图表实时显示工艺过程
10.真空泵的排气能力为16m3/Hour,配有强制进气阀
11.配有压力传感器,可根据工艺要求设定压力值
12.电源电压:400V /16A