特点
高精度CNC表面粗糙度/形状测量仪，一机二用：可进行表面粗糙度和形状/轮廓测量。
每轴驱动速度*高可达200mm/s，实现高速定位，满足多轮廓/多工件的测量任务。
带α轴的机型可通过电动倾斜检出器，对水平和倾斜表面进行连续测量。
带Y轴工作台的机型可通过Y轴轴向定位，扩大测量任务的范围，如多工件任务等。
SV-C4000CNC系列的轮廓驱动器配备激光全息光栅尺，可提高宽/窄范围测量精度和Z1轴分辨率。
通过同时控制X1轴和Z2轴的方向，可实现倾斜平面的测量。
通过简单的一次性操作，可更换形状/轮廓测量装置与表面粗糙度测量装置，并且，不必对连接电缆重新布线。
由于Z1轴检出器内置了防撞器，当检出器主体即将碰撞工件或夹具时，检出器将自动停机。
配有易于操作的遥控箱：通过两个操纵杆，选定需要操作的轴，即可实现任何移动。键上端的轴向图标易于辨认，轻松操作。
通过USB与数据处理/分析器通信。
轮廓测量技术参数
X1轴
测量范围: 200mm
分辨率: 0.05μm
测量速度: 0.02-2mm/s
直线度: 2μm/200mm
指示精度（20℃时）: ±（1+4/200）μm（SV-C3000CNC）
±（0.8+4L/200）μm（SV-C4000CNC）
a轴
倾角 : -45°-+10°
分辨率: 0.000225°
旋转速度: 1rpm
Z2轴（立柱）
垂直移动: 300mm或500mm
分辨率: 0.05μm
驱动速度: 200mm/s（*大CNC）
0-60mm/s(操纵杆)
Z1轴(检测器)
测量范围: ±25mm
分辨率: 0.2μm（SV-C3000CNC）
0.05μm（SV-C4000CNC）
直线位移精度(20℃):
±（2+|4H|/100）μm（SV-C3000CNC）
±（0.8+|0.5H|/25）μm（SV-C4000CNC）
测针位移: 弧形移动
测针方向: 向下
测力: 30mN
跟踪方向: 向上:70°,向下:70°
测针针尖: 尖端半径：25μm，硬质合金尖端
表面粗糙度测量的技术参数
X1轴
测量范围: 200mm
分辨率: 0.05μm
测量速度 : 0.02-2mm/s
直线度: 0.5μm/200mm
α轴
倾角: -45°-+10°
分辨率: 0.000225°
旋转速度 : 1rpm
Z2轴（立柱）
垂直移动: 300mm或500mm
分辨率: 0.05μm
检测器（选件）
范围/分辨率: 800μm/0.01μm，80μm/0.001μm， 8μm/0.0001μm
测力: 4mN或0.75mN（低测力型）
测针针尖: 金刚石，90°/5μmR (60°/2μmR：低测力型)
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