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产品简介
压电平台XY200M沿X和Y轴的行程为200 μm,*高可承受3kg的负载。应用领域包括原子力或扫描隧道显微镜和掩膜定位等等。这种平台基于APA200M设计,具有很高的硬度,可以配备精度高达10nm的应变计或涡流传感器。平台沿X,Y和Z轴的转动非常小。移动外框可根据要求定制。紧凑型XY25XS平台非常适合用于光纤定位,微扫描等应用。