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准确成像,无交叉耦合误差
业界领先的XYZ轴线性度,样品和探针分别由独立的闭环扫描器控制
业内*低的平面偏移度,全扫描范围水平线性误差小于1nm
垂直扫描器全程伸缩线性度由于0.015%
优化了水平扫描器的ring-ring现象,精准的正向sine-scan算法
准确扫描,真正的非接触模式
Z轴伺服带宽超过9kHz,响应速度大于62mm/s
非接触模式下*快的扫描速度
极低的探针磨损,保证了长时间高质量扫描
极低的样品损伤
准确测量,真正的样品形貌
业内领先的低噪音检测器
业内领先的正反测量偏离量,小于0.15%
优化的散热部件,极大降低了系统热偏移
功能强大的隔音罩,舱体内部主动控温
提高用户工作效率
开放式样品空间,样品及探针更换极为方便
预对准探针安装与同轴光路设计方便激光调整
独创的十秒进针功能,探针高速自动完成进针
24为数字电控箱,3路内置锁相放大器,具备Q-Control和弹性系数校正功能