全自动半导体检查显微镜 MX61A

参考信息

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MX61A是*款专门设计的半导体显微镜，可使操作人员以正确的人体工程学姿势进行操作，有利于操作人员在长时间的工作中顺利进行检测，保证了工作的*率和产品*体*。

为用户提供**的*率

满足客户需求是奥林巴斯的**要务。

正是牢记这*点，奥林巴斯所提供的显微镜*决方案让工业检查变得更轻松、更便捷、更**。同时，当将显微镜成功集成应用到生产线上，操作舒适性等人体工程学问题与晶圆**问题就显得尤为重要，我们注重*决此类问题。奥林巴斯始终为半导体晶圆、平板显示器和电子设备等在内的多个行业，提供新构思、*决方案和技术支持。（来源：成贯仪器）

MX61A

适合检查300mm样品的电动控制式显微镜。搭载了奥林巴斯Stream软件，可电动控制观察模式、照明强度、物镜、孔径光阑和载物台移动（可选）。主动式激光自对焦功能提*了检查*度和速度。

MX61A——自动**决方案

满足对自动*的需求

自动*控制阵容

MX61A提供了以下自动*控制功能：

?观察模式

?Z轴对焦

?物镜倍率

?孔径光阑

?照明强度

?硬件自动对焦（选配）

?DIC 棱镜**（选配）

?扫描台控制（选配）

奥林巴斯的Stream软件不仅能够控制显微镜的基本操作，如活动图像预览和图像抓取等，通过屏幕上软件的**还可以控制诸如自动对焦及进行DIC棱镜**等更为复杂的操作。（来源：成贯仪器）

主动式激光自动对焦

奥林巴斯全自动半导体检查显微镜 MX61A配备了主动式激光自动对焦装置，能够提*检查*度和速度。多点传感器可**试样表面垂直不平整度带来的影响，显著提*稳定性，为您提供更快速、更具可再现性的结果。

易于使用的自动对焦控制功能

**的软件集成

奥林巴斯Stream软件与200mm或300mm的电动扫描台*起使用时，操作员能够很轻松地拼接单个视场外的多个图像，进*步扩展了图像采集和分析的可能性。

电动扫描台的直觉式控制

用于触摸控制的手持控制器

奥林巴斯全自动半导体检查显微镜MX61A通过这款符合人体工程学原理的手持控制器，操作员可使用按钮控制显微镜的多项电动功能，例如选择物镜和观察方法等。此外，操作员还可在“跟踪”和“单次对焦”之间切换自动对焦装置的工作模式，进行手动微调焦、微分干涉棱镜的延迟位置**、控制光照强度、降低载物台以更换样品等。（来源：成贯仪器）

通过手持控制器，使用按钮操作显微镜

观察影像实例

明视场观察      暗视场观察      微分干涉观察

荧光观察      近红外线观察（左）和可见光线观察（右）的比较

提供扩展性的*决方案

提供扩展性的*决方案

适应分析需求的Analysis-Engine（分析引擎）模块

"显微镜控制软件"作为核心对MX61A系统全体进行控制。这个应用灵活的软件不仅能控制显微镜，还能控制数码照相机、电动载物台等外围设备。软件进*步拓展了MX61A的扩张性，满足了不断变*的分析需求。

实现对人和环境都没有危害的自动*

符合SEMI　S2/S8标准（来源：成贯仪器）

符合SEMI（SemiconductorEquipment and Materials International）S2-0706（有关**的基准），S8-0705（有关人体工程学的基准）和CE标识（欧洲强制性认证）等的*际标准。符合人体工程学和**对策等，*水准的确保了可靠性。

可选的倾斜观察筒

倾斜观察筒示意图

备有2种能以舒适姿势观察的倾斜镜筒。可以根据用途选择双目部倾斜角度由水平0°到42°的、变*范围大的MX-SWETTR型号，或是目视和拍摄影像可同时观察的U-SWETTR-5型号。

洁净对应的电动物镜转换器

洁净对应的电动物镜转换器

备有两种坚固耐用的洁净型电动物镜转换器。
6孔和5孔中心补正型号的明暗视场电动物镜转换器，**了**马达，实现了*速安静的倍率转换。

**振本体

*倍率观察图像示意图

**了不易受振动影响的*度刚性仪器机架。即便是*倍率观察，也不会出现影像模糊的情况。

帮助实现多种观察的附件

晶圆搬送机组合

晶圆搬送机

可以对应直径200 mm及以下的晶圆。**搬送手臂的**，实现了对90 μm*薄晶圆的搬送，能满足多种尺寸晶圆搬送的需求。（来源：成贯仪器）

自动载物台组合

自动载物台

备有对应300mm/200mm晶圆的**度电动载物台。通过PC控制，可以实现**检查、**分析功能。

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