6寸半导体晶圆检查显微镜 MX-6RT

参考信息

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宽视场铰链式三目观察筒

正像铰链三目观察筒，所成像的方位与物体实际方向相同，物体移动的方向跟像面移动的方向相同，便于观察与操作。

大行程移动平台设计

采用6寸平平台设计，行程158×158mm，可适用于对应尺寸的晶圆或FPD检测，也可用于小尺寸样品的阵列检测。

高精度物镜转换器

转换器采用精密轴承设计，转动手感轻巧舒适，重复定位精度高，物镜转换后的同心度也得到较好的控制。

安全、稳重的机架结构设计

工业检测级显微镜镜体，低重心、高刚性、高稳定性金属机架，保证了系统的抗震能力与成像稳定性。

其前置低手位粗微调同轴调焦机构，内置100-240V宽电压变压器，可适应不同地区的电网电压。底座内部设计有风循环散热系统，长时间使用也不会使机架过热。

光学系统：无限远色差校正光学系统

目镜：高眼点平场目镜，PL10X，线视场φ22mm，配十字刻划标尺。

观察筒：正像，铰链式三目，30°倾斜，分光比：三目100%

照明系统：带可变视场光阑与孔径光阑，均可调中心；带滤色片插槽与偏光装置插槽；带斜照明切换拉杆。反射照明12V100W，光强连续可调。

调焦机构：粗微调同轴，带粗调上限位、松紧调节装置和随机限位装置

粗调行程：33mm（焦后1mm），微调精度：0.001mm

物镜转换器：内定位、内倾式、五孔明暗场物镜转换器 带DIC插槽

LMPL无限远长工作距明暗场金相物镜5X、数值孔径0.15、工作距离11.8mm

LMPL无限远长工作距明暗场金相物镜10X、数值孔径0.30、工作距离11.0mm

LMPL无限远长工作距明暗场金相物镜20X、数值孔径0.45、工作距离4.0mm

LMPL无限远长工作距明暗场金相物镜50X、数值孔径0.55、工作距离7.8mm

LMPL无限远长工作距明暗场金相物镜100X、数值孔径0.80、工作距离2.1mm

三层机械移动平台，反射行程158x 158mm，透射行程：100x100mm，玻璃工作台，右手位X、Y移动手轮，带离合器手柄，可快速移动 

高清工业相机OMT-918M（带测量）

1.采用FPGA+ARM架构的嵌入式系统。运行LINUX3.10操作系统。

2.双核Cortex-A9处理器，主频速度为1Ghz和高达1GbDDR3内存。

3.采用1/2英寸背光式CMOS Sensor。

4.高达200万高速图像采集，分辨率为1920×1080@60fps

5.两个USB接口，可连接无线鼠标或者键盘。

6.灵活的标定方式。mm、um、miI可任意选择。

7.自带智能取点功能大限度保证测量的一致性。

8.测量图像和数据可保存。

测量功能:两点间、点到线、三点圆、圆心距、同心圆、点到圆、线到圆、平行线、矩形、角度、弧度、多边形

数据保存:带测量结果图像或excel数据保存

测量方式:鼠标操作，智能选点/手动选点

接口:2个usb接口。可连接U盘、无线鼠标或键盘

三星液晶显示器22寸，1080P 

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