扫描电子显微镜 JSM-6510

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JSM-6510扫描电子显微镜 
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JSM-6510A/ JSM-6510LA分析型扫描电子显微镜，与日本电子公司的元素分析仪（EDS），统合于*体。结构紧凑的EDS由显微镜主体系统的电脑控制，操作员只用*只鼠标，就可完成从图像观测到元素分析的整个过程。 

操作窗口 

直观的操作界面的设计，简明易懂便于迅速掌握操作。 

支持多用户 

单个用户可以根据常用功能设置相应的图标，营造快捷的操作环境。用户登录时，即可加载已注册过的设定。 



同时显示两幅图像 

画面上并列显示二次电子成像和背散射电子成像这两种实时图像。可同时观察样品的形貌和组成分布。 

微细结构测量 

适合于多种测量功能。可在观察图像上直接进行测量。也可将测量结果贴*SEM图像，保存在文件中。 



标准的全对中样品台，能收录三维照片 

3D Sight（选配件），能够进行平面测量和*度测量，实现立体俯视图。 

从图像观察到元素分析，配合连贯*条龙 

分析型扫描电子显微镜配备两台监视器，*台用于SEM图像观察和另*台用于元素分析（EDS）。*只通用鼠标即可同时控制两台监视器。大尺寸画面使操作更加简便与舒适。 





维护简便 

工厂预置中心灯丝，**便于更换。因此，可长期保持稳定的*性能。此外，操作界面还能以映像形式显示灯丝维护的步骤说明。 

可信赖的真空系统 

真空系统使用*性能的扩散泵保证了洁净的*真空状态。扩散泵内部无活动部件，体现了操作稳定，维护简便的特色。 

JSM-6510规格 保证分辨率 3.0nm（30kV） 
8.0nm（3kV） 
15nm（1kV） 
放大倍数 5*300,000x 
加速电压 0.5kV*30kV 
电子枪 工厂预对中灯丝 
聚光镜 变焦聚光镜 
物镜 锥形物镜 
样品台 全对中样品台 
X-Y 80mm-40mm 
Z 5mm*48mm 
旋转 360° 
倾斜 －10°*＋90° 
排气系统 
（*真空模式） DPx1，RPx1 
排气系统 
（低真空模式） DPx1，RPx2

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