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特点:
1. **电子光学系统设计达到扫描电镜****分辨率:二次电子0.4nm(30KV),STEM 0.34nm(30KV)。
2. Hitachi**设计的E×B系统,可以自由控制SE和BSE检测信号。
3. 全新真空技术设计使得SU9000冷场发射电子束具有超稳定和*亮度特点。
4. 全新物镜设计显著提*低加速电压条件下的图像分辨率。
5. STEM的明场像能够调整信号检测角度,明场像、暗场像和二次电子图像可以同时显示并拍摄照片。
6. 与FIB兼容的侧插样品杆提*更换样品*率和*倍率图像观察*率。