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仪器简介:
**离子和电子双束系统为材料研究提供了****的纳米分析能力。
日立公司久负盛名的*可靠性和*性能设计在**双束系统(超**密聚焦离子束FIB和*分辨场发射电镜FE-SEM)中得到了**体现,它具有**率的样品制备能力、**度纳米微加工能力和*分辨图像观测能力。新的低损伤加工技术可以很好的满足感光材料和电子束曝光应用的需求;而新开发的微样品取样、样品装载和样品导航功能则进*步提*了分析*果*1。
主要特点:
特点:
超**密聚焦离子束FIB
低铯FIB*2系统保证了不小于50nA的束流强度(40KV),和1m的束斑尺寸。
保证了大面积的抛光、硬质材料的微加工和**率的样品制备。
新开发的微样品取样技术*2
日立公司**技术微样品取样技术保证了探针的平滑移动,同时新开发的通过探针生成的吸收电流图象技 术用来避免错误发生。
*分辨扫描电镜
日立公司**技术的的电镜镜筒和探头*2保证了无论FIB是否工作均可以观测到*分辨点睛图像。
**度的终点探测技术
SEM的*分辨图像保证了**度的终点探测,利用实时的FIB图像实现的Section-View功能可以显示截面的轮廓图,在电子感光材料样品制备中有函大价值。
样品杆可适应TEM/STEM*1*2
侧插式样品杆可以适用于其它设备(日立公司NB5000和TEM/STEM)