参考信息
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世界顶级光学品牌,可见光学和电子光学的领导者。其电子光学前身为LEO(里奥),更早叫Cambridge(剑桥)和ZEISS。1965年推出世界第一台商业化扫描电镜;1985年推出世界上第一台数字化扫描电镜。EVO系列电镜是高性能、功能强大的高分辨应用型扫描电子显微镜。MA 25用于材料领域,LS 25用于生命科学领域。该系列电镜采用多接口的大样品室和艺术级的物镜设计,提供高低真空成像功能,可对各种材料表面作分析,并且具有业界领先的X射线分析技术。革命性的Beamsleeve的设计,确保在低电压条件下提供高分辨率的锐利图像,同时还可以进行准确的能谱分析。样品台为五轴全自动控制。标准的高效率无油涡轮分子泵能够满足快速的样品更换和无污染(免维护)成像分析。
用途:
扫描电镜(SEM)广泛地应用于金属材料(钢铁、冶金、有色、机械加工)和非金属材料(化学、化工、石油、地质矿物学、橡胶、纺织、水泥、玻璃纤维)等检验和研究。在材料科学研究、金属材料、陶瓷材料、半导体材料、化学材料等领域进行材料的微观形貌、组织、成分分析,各种材料的形貌组织观察,材料断口分析和失效分析,材料实时微区成分分析,元素定量、定性成分分析,快速的多元素面扫描和线扫描分布测量,晶体、晶粒的相鉴定,晶粒尺寸、形状分析,晶体、晶粒取向测量。
技术参数:
分辨率:2.0nm@30KV(SE with Lab6 option) 3.0nm@30KV(SE and W) 4.5nm@30KV(VP with BSD)
加速电压:0.2—30KV
放大倍数:5—1000000x
视野范围:6mm
X-射线参数:8.5mm WD,35度接收角
压力范围:10—400Pa (LS25-3000Pa)
工作室:420mm(φ)×330mm(h)
5轴试样载物台:X=130mm Y=130mm Z=50mm T=0-90°R=360°
*大试样高度:210mm,试样*大直径:300mm
系统控制:基于Windows XP 的SmartSEM
主要特点:
*大的样品高度可达210mm
*大样品重量5Kg
*大的样品直径300mm
能在可变压力下操作
高亮度LaB6资源选择
光线套选择
技术优势:
在z轴上可机动化的移动50mm并且在X和Y轴上可移动130mm
通用图像处理
用X射线分析改进了LaB6成像质量
支持两个空间的范围
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