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分辨率 *真空(二次电子) 低真空(背散射电子) （低真空二次电子) | 1.0nm(30kV),1.2nm(15kV),2.0nm(3kV) 2.0nm(30kV) 1.5nm(30kV), 3nm(3kV) |
工作真空 *真空 低真空 枪体真空 | <5×10-4Pa 7-150Pa <3×10-7Pa |
电子光学工作模式 | 分辨率/景深/视野/大视野/电子衍射花样 |
放大倍率 | 3.5×-1,000,000×连续可调 |
加速电压 | 200V*30KV |
电子枪 | *亮度肖特基发射源 |
探针电流 | 2pA*100nA |
扫描速度 | 从20ns/pixel*10ms/pixel,可分段或连续调整 |
聚焦窗口 | 大小和位置连续可调 |
扫描特性 | 动态聚焦，聚焦窗口，点和线扫描，倾斜校正，实时三维图像 |
图象尺寸 | *大可达8192×8192像素，图象比例可选1：1、4：3或2：1。 |
显微镜控制 | 通过计算机（键盘、鼠标、轨迹球）操作VEGA TC软件，所以显微镜的功能均可在WindowsTM平台下实现 |
自动程序 | *有的实时电子束追踪(In-Flight Beam TracingTM)技术可持续**探针电流和束斑直径，真空控制，电子枪合轴，光阑&透镜对中，加速电压改变的补偿，*优*束斑大小和探针电流，*优*放大倍率和束斑大小，扫描速度，*度和对比度，聚焦和消像散，灰度等*调整。 |
远程控制 | 通过TCP/IP |
内部尺寸 | Ф230mm |
门宽 | 148mm |
接口数量 | 11+ |
样品室减振方式 | 气垫减振（可选配内置主动式电磁减振） |
类型 | 全电脑*优中心 |
移动范围 | 全马达驱动控制方式: X=80mm－－马达驱动 Y=60mm－－马达驱动 Z=47mm－－马达驱动 旋转:360°连续可调－－马达驱动 倾斜:-80°到+80°－－马达驱动 |
样品*度 | *大81mm |
合规既生命!
沪公安网备:
31019002000128