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技术参数
原理 PCSA配置的自动回零(Auto-Nulling)图像椭圆光度法
椭圆光度分辨率 Delta/Psi*度 0.001 deg ***度 0.01 deg(依赖于样品与测量条件)
立体分辨率 1~35μm(平面*析*度:1μm,纵向*析*度:1 nm)
激光器波长 标准为: 532 nm 可选405, 488, 514, 543, 594, 633, 650, 690, 785, 830, 905, nm
灵敏度 0.05~0.2nm
*析时间 快,22×73mm在1.2μm*度下只需不到*分钟的时间
图像系统 768 x 572像素CCD照相机
电子组件 内置基于Pentium芯片的控制器,带Matrox Meteor II 抓图器; 内置Linux操作系统;通过专用100M以太网与主机相连
电源 电压:100 – 240 VAC, 50/60Hz *大电流: 10 A