椭圆偏振仪 M358662

参考信息

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技术参数 

原理：PCSA配置的自动回零（Auto-Nulling）图像椭圆光度法 

椭圆光度分辨率：Delta/Psi精度 0.001 deg　　绝对精度 0.01 deg 

立体分辨率：1-35μm（平面解析精度：1μm，纵向解析精度：1 nm） 

激光器波长:532 nm(可选405/488/514/543/594/633/650/690/785/830/905nm) 

灵敏度:0.05~0.2nm 

解析时间:快，22×73mm在1.2μm精度下只需不到一分钟的时间 

图像系统:768 x 572像素CCD照相机 

电子组件: 

内置基于Pentium芯片的控制器 

带Matrox Meteor II 抓图器 

内置Linux操作系统 

电源:电压100-240 VAC, 50/60Hz *大电流10 A

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