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技术参数
原理:PCSA配置的自动回零(Auto-Nulling)图像椭圆光度法
椭圆光度分辨率:Delta/Psi*度 0.001 deg ***度 0.01 deg
立体分辨率:1-35μm(平面*析*度:1μm,纵向*析*度:1 nm)
激光器波长:532 nm(可选405/488/514/543/594/633/650/690/785/830/905nm)
灵敏度:0.05~0.2nm
*析时间:快,22×73mm在1.2μm*度下只需不到*分钟的时间
图像系统:768 x 572像素CCD照相机
电子组件:
内置基于Pentium芯片的控制器
带Matrox Meteor II 抓图器
内置Linux操作系统
电源:电压100-240 VAC, 50/60Hz *大电流10 A