组合式椭偏仪 SE500adv

参考信息

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迄今为止*简单易用的椭偏仪 
? SE 500adv结合椭偏测量和反射测量 
? 可消除椭偏测量对透明膜厚度的周期不确定性 
? 膜厚测量范围可扩展至25000 nm. 
? 激光波长632.8 nm 
? 反射计光谱范围450 nm-920 nm 
? 光斑直径80 μm 
? 150 mm (z-tilt)样品台 
? 角度计，可变入射角度，步进5° 
? LAN连接电脑 

　　CER组合椭偏仪SE 500advanced可作为激光椭偏仪，CER组合式椭偏仪或反射膜厚仪FTPadvanced操作。比常规激光椭偏仪有更好的适应性。 

作为椭偏仪操作 
　　单角度和多角度测量，可测量*多三层膜的厚度和光学参数，测量波长632.8nm，有*高的测量精度。 
作为反射式膜厚仪FTPadvanced操作 
　　白光正入射测量，可测量透明膜或弱吸收薄膜，厚度*大可达25μm。配置更先进的软件FTPexpert后能够测量多层膜。 
作为CER组合椭偏仪操作 
　　解决了透明膜的周期不确定性问题，并由于确定的膜厚周期，折射率测量精度显著增加。可测量透明膜的Cauchy系数。 

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