光谱椭偏仪 SE800DUV

参考信息

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光谱范围: 190 nm - 950 nm 

　　SE 800 DUV 针对要求苛刻的应用而设计，如玻璃上的极薄透明膜，平板印刷中的光刻胶材料和减反射膜，透明或吸收基底上的多层膜，高级微电子应用比如SOI，ONOPO和高k值材料。各向异性材料和非均匀样品也能够被分析。 

　　SE 800DUV 是基于在紫外-可见光-近红外波段的快速二极管阵列探测器高性能光谱椭偏仪，能够快速获得数据并在全波段解析，配置了高精度延迟器和电脑控制起偏器。SE 800DUV基于步进扫描分析操作原理。分析器由光栅和光电二极管阵列组成。 

　　SE 800DUV的深紫外概念被设计针对低散射光线，对低反射样品也有很高灵敏度。 

主要应用 
　　·测量单层膜或多层膜的厚度和折射率。 
　　·测量化合物薄膜，比如SiOxNy, AlGaN 
　　·在紫外-可见光-近红外波段测量材料的光学性质 
　　·测量指数梯度 
　　·测量膜表面和界面间粗糙程度 
　　·确定材料成分 
　　·分析较厚的膜，厚度范围可到30微米 
　　·适合测量In搀杂半导体材料 (InP, InGaAs, InGaAlAs, InN) 

选项 
　　·紫外光谱扩展选项，280 - 850 nm 
　　·近红外光谱扩展选项，1700 - 2300 nm 
　　·电脑控制高性能消色差补偿器，针对紫外-可见光波段 
　　·电脑控制起偏器 
　　·电脑控制自动角度计, 40o-90o, 精度0.01o 
　　·手动x-y载物台，150 mm行程 
　　·电机驱动x-y载物台，行程50 mm - 200 mm, SENTECH地貌图扫描软件 
　　·透射测量样品夹具 
　　·摄象头选项，用于样品校准和表面监测 
　　·液体膜测量单元 
　　·反射式膜厚仪 FTPadvanced, 光斑直径80 mm 
　　·微细光斑选项 
　　·自动对觉选项，结合地貌图扫描选项 
　　·SENTECH 标准样片 
　　·附加许可，使 SpectrRay II 软件可以用于多台电脑 

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