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本产品是把高性能的微型X射线管(两种可选)安装在SEM上,利用能谱仪探测器来接受信号,从而将XRF整合进SEM+EDS系统中,结合了EDS和XRF两者的优势,使其在元素分析方面有自己的独特之处,XRF分析具有对样品无破坏、可直接分析不导电样品、灵敏度更高,能实现PPM量级分析等优点,这是其它能谱产品所不具有的。这种SEM+EDS+XRF的元素分析方案目前已经在美国得到广泛推广和应用。
★更高的峰背比,重叠峰少,灵敏度是EDS的10-1000倍,可以实现PPM级的痕量分析。
★两种型号的X射线管,很好的兼容性,可以与任意厂家的能谱探测器搭配。