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性能特点如下:*原理:ETD-100AF 是*真空热蒸发式小型镀膜机。**电阻式蒸发原理,利用大电流加热钼舟或钨丝蓝或固定支架上的镀膜材料,使其在*真空下蒸发,沉积在被镀样品上以获得*佳镀膜*果。
*适用范围:电子显微镜样品制备和清洁光栏,以及科研、教学和企业中的实验活动、工艺试验。
*特点:使用了大抽速、*压缩比、自然风冷却复合分子泵,确保喷镀时能够迅速抽掉蒸发源和样品放出的气体;正常情况下喷镀室内*少有油蒸气回流,非常清洁。
*蒸发的材料:碳、金等。
技术参数:*配置和参数:
真空室: 直径230mm,*度:280mm
靶材料: 碳、金等。
电*(两对): *对用于钼舟或钨丝栏,*对蒸碳。
*大电流: 100A
*大电压: 10V
*限真空: 1×10 Pa
工作真空: 2×10 Pa
加热功率: 1000W
机械泵: 4 升/每秒,AC 220V/50Hz
复合分子泵: 600升/秒,AC 220V/50Hz(风冷)