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技术参数(机械部分):
1. XY扫描器:50μm×50μm(闭环),可选配100μm×100 μm(闭环)
2. Z扫描器:12μm (可选配25μm)
3. 水平度:50μm线扫描垂直偏差不超过1nm
4. XY和Z扫描器的正交性:1.0o
5. 样品台移动范围:25mm×25mm(X/Y),27.5mm (Z)
6. 样品尺寸:100mm×100mm
7. 光学观察:垂直光路设计,可直接观察微悬臂和样品
技术参数(电子部分)
1. 微处理器:600MHz,4800MIPS DSP
2. 模数/数模:16位,500kHz采样频率
3. 图像采集:同步自动采集16幅图像,分辨率*达4096×4096像素
4. 通讯方式:**基于TCP/IP协议的通讯方式与计算机联接
5. 符合CE认证标准
标准工作模式:
. 真正非接触模式(True non-contact mode)
. 接触模式(contact mode)
. 相位模式(phase imaging)
. 横向力模式(LFM)
扩展工作模式:
. 力测量(Force measurements)
. 导电(Conductive AFM)
. 电力(Electric Force)
. 电子 (Electrical)
. 磁性 (Magnetical)
. 机械 (Mechanical)
. 热 (Thermal)
主要特点:
*、 计量*确
XE系列AFM彻底**了球面误差,因而具备了实现*确纳米计量的能力。
二、 扫描器线形度*,直角正交
XE系列AFM**了柔性扫描器*大限度减小了X和Y扫描*动的交叉耦合,并且通过位移传感器及时进行反馈控制,这就有*保证了扫描的准确度和*度。
三、 非接触式扫描
可真正实现非接触式扫描是Park AFM*显著的技术优势。**这*模式扫描时,针尖和样品间距可以保持在几个纳米,在避免针尖磨损的同时提*了成像质量。
四、 CrN样品测试结果
CrN样品具有点状尖锐的特点,是常用的AFM探针性能测试样品。如**轻敲模式进行扫描,10次后图像质量就因针尖磨损而明显下降。在非接触扫描实验中,扫描100次后图像细节依然清晰,证明针尖没有受到损伤。