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技术参数(机械部分)
XY扫描器:100μm×100μm(闭环),可选配200μm×200μm(闭环)
Z扫描器:12μm (可选配25μm)
水平度:100μm线扫描垂直偏差不超过±2nm
XY和Z扫描器的正交性:1.0°
样品台移动范围:25mm×25mm(X/Y),27.5mm (Z)
样品尺寸:100mm×100mm
光学观察:垂直光路设计,可直接观察微悬臂和样品
技术参数(电子部分)
微处理器:600MHz,4800MIPS DSP
模数/数模:16bit,500kHz采样频率
图像采集:同步自动采集16幅图像,分辨率*达4096×4096像素
通讯方式:**基于TCP/IP协议的通讯方式与计算机联接
符合CE认证标准