超高分辨热场发射扫描电子显微镜 JSM-7600F

参考信息

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性能特点如下：JSM-7600F是日本电子株式会社2008年下半年推出的兼顾冷场的*分辨率和热场大束流为*体的热场发射扫描电镜，它几乎集成了当今扫描电镜的全部前沿技术，*大200nA的大电流在保证*分辨率的同时，得到*速样品分析结果，空间分辨率**，对导电性差的样品也有很多*决办法。JSM-7600F自动****，操作直观方便，可以称得上是*款*档次的场发射扫描电镜。详情请咨询日本电子株式会社各地事务所。

*主要特点：1.主动式减震器 
2.***的磁悬浮分子泵系统，无需UPS保护 
3.标配的五轴马达驱动全对中样品台 
4.全自动样品更换气锁 
5.全自动样品监控系统 
6.全自动物镜光阑 
7.多通道显示系统 
8.减速系统标准配置 
9.能量过滤器标准配置 
10.可以选配1.5nm*分辨LABE背散射电子探头 
11.可以选配扫描投射探头（STEM）

技术参数：1.分辨率：1.0nm(15kV)/1.5nm(1kV) 
2.加速电压：0.1KV-30kV 
3.放大倍数：25-100万倍 
4.样品室尺寸：*大200mm直径样品 
5.束流强度：1pA到200nA

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