自动椭圆偏振测厚仪 SGC-2

参考信息

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性能和特点:

1、光源:采用波长为632.8nm的氦氖激光光源①其特点是:光强大、光谱纯、波长稳定性好。

2、接收器:采用光电倍增管⑤,把光讯号变为电讯号,经放大后输出至微机,由微机选择出消光位置的角度值。

3、主机部分:除以上两项外,还有起偏组件②,样品台③,检偏组件④。

4、电子及通讯部分⑥:采集光强及对应的角度值并传输到计算机,再接收由计算机发出的指令逐步靠近消光点。

1、仪器采用消光式椭圆偏振方式测量,具有精度高、自动控制等特点。

2、光源采用氦氖激光,波长精度高。

3、仪器采用USB接口与电脑连接,配套软件对采样数据具有多种处理方式适用于不同需要,同时软件有完整版及学生版两种版本适用于教学要求。

技术参数:

测量范围:1nm～4000nm;

测量*小值:≤1nm;

镀膜折射率范围:1~ 10

入射角:20°～90°  误差≤0.05°;

偏振器方位角范围:0°～180°;

偏振器步进角:0.014°/步;

仪器测量精度:在10nm处误差为±0.5nm;

光学中心高度:80㎜;

允许样品尺寸直径:Φ10~Φ120㎜,厚度≤16㎜;

外形尺寸:730 x230X 290;

主机重量:30kg;

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