手动椭圆偏振测厚仪 EX1

参考信息

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性能特点如下：原EM21手动椭圆偏振测厚仪现升*为EX1手动椭圆偏振测厚仪
EX1手动椭圆偏振测厚仪是基于消光法（或称“零椭偏”）椭偏测量原理，针对纳米薄膜厚度测量*域推出的*款手动教学仪器。
EX1 仪器适用于纳米薄膜的厚度测量、以及纳米薄膜的厚度和折射率测量。
EX1仪器还可用于测量块状材料（如，金属、半导体、介质）的折射率n和消光系数k。

*特点：消光法椭偏测量原理
仪器**消光法椭偏测量原理，易于操作者理*和掌握椭偏测量基本原理和过程。
方便的样品水平放置方式
**水平放置样品，方便样品取放。
*巧的*体*结构
集成*体*设计，*巧的仪器外形，方便地显示仪器测量过程中的光强信息。
*准确性的激光光源
**激光作为探测光波，测量波长准确度*。
实用的样品测量功能
可测量纳米薄膜的膜厚和折射率、块状材料的复折射率。
方便的仪器手动操作
手动完成测量，仪器软件辅助进行测量数据的分析。
可扩展的仪器功能
利用本仪器，可通过适当扩展，完成多项偏振测量实验，如马吕斯定律实验、旋光测量实、旋光等。

*应用：EX1适合于教学*域，适用于单层纳米薄膜的薄膜厚度测量，也可用于测量块状材料的折射率n和消光系数k。
EX1可测量的样品涉及微电子、半导体、集成电路、显示技术、太阳电池、光学薄膜、生命科学、*学、电*学、磁质存储、平板显示、聚合物及金属表面处理等*域。

技术参数：仪器型号 EX1
测量方式 手动
样品放置方式 水平放置
光源 He-Ne激光器，波长632.8nm
探测光束直径 Φ2-3mm
入射角度 30°-90°，误差0.1°
偏振器方位角读数范围 0-360°
偏振器刻度 2°/格
偏振器*小读数 0.05°
样品方位调整 Z轴*度**：10mm
二维俯仰**：±4°
允许样品尺寸 样品直径可达Φ80mm
配套软件：
多个测量项目选择
测量数据分析、计算、输入输出
*大外形尺寸 约400*400*250mm
仪器重量（净重） 约20Kg
选配件       半导体激光器
注：(1)测量重复性：是指对标准样品上同*点、同*条件下连续测量30次所计算的标准差。

*性能保证：ISO9001*际质量体系认证下的仪器质量保证
专业的椭偏测量原理课程讲授
专业的仪器使用培训

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